红外器件室薄膜组试行轮岗培训

为了保证顺利完成我所繁重的工程芯片研制任务以及发生意外情况下的工艺质量和人身、设备安全，在红外器件室主任李向阳研究员的大力倡导和支持下，从本月起红外器件室在薄膜课题组已开始试行轮岗培训，整个轮岗培训至11月底结束，共3个月的时间。

目前，红外器件室薄膜课题组共有6人，管理了包括热/电子束蒸发、磁控溅射、离子束刻蚀和镀膜、ICP-CVD（感应耦合等离子体-化学气相沉积）四大类真空设备以及退火炉、台阶仪、椭圆偏振仪和LBIC（激光束诱导电流）等多种薄膜用辅助仪器。现在组内长期的组织和管理模式为一人负责一种设备或者工艺，这样的优点是一个人相对于一种工艺较为熟悉，也可以开展较为深入的研究，但如果遇到该设备负责人出差或者发生意外不能到岗的情况下，就会拖延芯片的流程和任务完成的进度，即使有人可以临时顶替也很难保证所生长的薄膜质量符合质量要求，所以下半年在薄膜组试行轮岗培训，对每类设备（或工艺）进行为期3周的培训，然后轮换。

通过此次轮岗培训，希望能实现以下几个目标：

1、每个组员熟悉组内各类别的薄膜设备（包括生长原理、真空构成和操作规范等）；

2、明确每台设备的负责人和第2负责人的职责。第2负责人要在设备负责人不能到岗的情况下，能独立的完成该设备工艺的工程芯片流片任务；

3、促进完善设备操作规范和工艺卡的完善，加强质量管理；

4、在培训过程中，能发现组内其他的工艺和设备的不足之处，并提出一定的改进意见或措施。