1月9日,上海技物所新年首期学术沙龙成功举行。本期沙龙围绕国家自然科学基金委国家重大科研仪器研制项目(部门推荐)“面向红外芯片的光谱与界面功能关系研究的多尺度表征系统”,重点针对探测器制备工艺中的关键技术展开深入研讨。活动由所学术委员会副主任夏项团研究员主持,中国科学院院士匡定波,项目子系统负责人乔辉、徐国庆、王仍、储开慧、兰添翼等以及各部门职工、研究生代表参加。
乔辉研究员作了题为《可避免氧化的碲镉汞探测器工艺》的报告。他系统介绍了基于四大子系统构建的全流程无氧工艺方案,该工艺可有效抑制氧化、提升器件性能一致性,并实现关键工序的自动化操作。报告分享了项目最新进展与实验细节,现场交流热烈,讨论氛围活跃。
红外器件室许金通研究员表示:“在无氧环境下直接沉积钝化膜,有望显著降低表面态和界面电荷,这对提升芯片良率具有重要意义。”红外科学与技术实验室李天信研究员指出:“‘三无’工艺——无水、无氧、无人干预,为碲镉汞材料处理提供了新思路,其实际效果有待通过实验进一步验证。”组件室李淘研究员从跨领域协作角度提出,可依托项目已建成的高分辨红外显微表征系统,结合延伸波长外延片开展界面表征实验,直观解析材料界面行为与位错效应。
匡定波院士在总结中讲到,探测器制备工艺是提升红外芯片性能的核心环节,尤其在氧化控制与无氧工艺方面仍具有深入探索的空间。他鼓励科研人员发扬钻研精神,聚焦关键细节持续突破,并对项目后续进展寄予厚望。
上海技物所学术沙龙已成功举办668期。本期沙龙立足重大仪器研制任务,聚焦实验技术难点与前沿挑战,通过务实深入的交流,为后续技术集成与项目推进提供了有益借鉴与创新活力。
供稿:杨天杭
编辑:虞慧娴
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