上海市重大科技攻关项目进展顺利

来源: 时间:2004-06-07

    由我所王少伟博士承担的上海市重大科技攻关项目“新型集成窄带通滤光片技术研究”目前进展顺利。现已完成如下几项预定任务:
1. 掌握电子束蒸发方法制备SiO2、Ta2O5、SiO和Ge的镀膜工艺,以及磁控反应溅射方法制备SiO2和Nb2O5的镀膜工艺;
2. 分别采用SiO2/TiO2、SiO2/Ta2O5、SiO2/Nb2O5膜系初步制备出窄带通滤光片和无序型超窄带通滤光片;
3. 验证了采用非规整膜系设计制备无序型超窄带通滤光片的可行性。
    另外,还根据公安部上海消防研究所的要求,针对CO气体特征吸收峰,设计了带通位置为4.67mm的超窄带通滤光片,并进行实际镀制,已经获得基本符合要求的中红外超窄带通滤光片;对H2S气体特征吸收峰所对应的4.27mm超窄带通滤光片进行了膜系设计和工艺摸索。




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