六室举办科技交流会

   6月27日我室举办室学术交流会，这是我室科技活动小组成立后的第一次学术讨论会。会上，由新近引进的学术人才司俊杰博士作“硅的各向异性湿法腐蚀”专题报告。司博士在报告中简明地介绍了硅湿法腐蚀的概念、化学反应机理、特点及腐蚀图形与掩膜形状的关系。并对比介绍了各种常见的硅各向异性腐蚀液的组成及腐蚀特性。最后，介绍了此项方法用于正在研制的微机械器件的实验及进展情况。报告结束后，与会同志进行了热烈的讨论和交流。这次学术报告会为我室创建良好的学术研讨氛围围开了个好头。将推动我室的科研工作的顺利开展。